低溫等離子體是繼固體、液體和氣體之后的***四種物質狀態。當的電壓達到氣體的放電電壓時，氣體會被分解，產生包括電子、各種離子、原子和基在內的混合物。雖然放電過程中電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個系統呈現低溫狀態，即低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是使用這些高能電子、基等活性粒子和廢氣中污染物的作用,因此,污染物的在很短的時間內分解,和各種各樣的后續反應達到污染物降解的目的。

　　1)主要用于化工、造紙、制藥、食品、輪胎橡膠生產廠、汽車生產、噴漆、污水處理、污泥廢氣處理、廢氣處理、皮革工業、印刷工業、香料生產、飼料飼料、農藥生產、煙草工業等